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 超聲波流量計芯片的原理探討  六十八

(3)電容充電控制電路版圖

超聲波流量計電容充電控制電路是根據捕捉到的STOP電平高低變換信號來控制開關的打開與關閉。因為外接三個不同的充電電容，為了使電容充電操作一致，在版圖中采用對稱的設計，各個信號到達三個電容開關的線路基本一致，減小誤差。

(4)電阻

在標準CMOS工藝中，電阻有使用硅化物阻擋層Poly電阻、擴散電阻、阱電阻等形式。其中擴散電阻與阱電阻隨工藝及溫度變化很大，而Poly電阻對襯底電容小和失配小，具有線性度高等特點，故在本設計中均采用的Poly電阻。

(5)ESD保護

ESD是當今MOS集成電路中最重要的可靠性問題之一。在芯片上由于種種原因可能積累電荷，當電荷積累到一定程度，放電過程就會擊穿MOS管，造成永久的損壞。ESD現象主要能對電子器件造成以下的損壞：在半導體器件中由于介質擊穿而導致氧化物薄膜破裂；由于EOS(electrical overstrcss)引起過熱導致金屬導線熔化；由于寄生PNPN結構而導致CMOS器件閉鎖；使元器件結構中產生潛藏的缺陷，它們并不立即失效，但會引起斷續的故障以及長期可靠性問題。為了避免靜電對電路的破壞，需要在電路中加個靜電釋放模塊，也就是ESD電路。