超聲波流量計多聲道氣體測量技術探討 九
(5) 熱式氣體流量計
熱式氣體質量流量計是利用換熱原理檢測氣體流量的儀表，即利用流動氣體與熱源之間的熱能交換關系來測量流量[6]。熱源安裝在管內氣體中的加熱體或管外加熱體。
熱式氣體流量計具有以下優點[15，16]：①能測量極低流速的微小流量；②可靠性高，無可動部件；③壓力損失非常小，幾乎可以忽略；④可直接測量質量流量，不需要進行壓力和溫度修正；⑤直接輸出電信號，輸出值較大；⑥量程比極高，高達1000:1；⑦價格與管徑大小關系不大，方便安裝；⑧重復性好。
目前，熱式氣體質量流量計已經廣泛用于天然氣、煤氣、空氣、火炬氣等各種
工業領域的氣體流量測量，還應用于氣象、汽車工業(測量汽車尾氣流量)、醫療衛生事業(測量氧氣和麻醉劑流量)、能源工業(燃燒配風)、采暖通風、公共事業(測量氯氣、臭氧等氣體流量)等場合。但熱式流量計屬于介入式測量方法，其傳感器受流體介質的物理、化學特性的影響較大，在不同流速下，其測量的穩定性受影響，熱式流量傳感器的使用壽命也受影響。
超聲波流量計
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